Plasma Prep III : Mise en route et Maintenance

Vous trouverez ci-dessous nos vidéos tutoriels pour la mise en route et la maintenance de votre Plasma Prep III

 
 
 
 
 

Retranscription de la vidéo : Mise en route Plasma Prep III

Bienvenue sur le tutoriel de la mise en route du four à plasma, Plasma Prep 3 Commencez par ouvrir votre bouteille de gaz. La pression de sortie doit être de l’ordre de 0.3 bars. Mettez en route votre pompe primaire fomblinisée et vérifier le niveau d’huile. Introduisez votre échantillon dans la chambre en quartz interne. Ouvrez la porte du Plasma Prep 3 et introduisez la chambre interne dans la chambre externe. Maintenez avec un doigt la chambre interne. Mettez l’appareil sous tension à l’aide du bouton power. Lancer le pompage, bouton vacuum et retirer votre doigt. Refermez la porte du Plasma Prep 3. Attendez que la pression se stabilise, généralement autour de 230 millitorrs. Placer le potentiomètre « RF level » à la position 9h. Lancer la RF, bouton RF. A l’aide du réglage tunning, amorcer le plasma. A l’aide du poussoir rwd/fwd (reward, forward), sélectionnez l’affichage R, puis minimiser sa valeur grâce au bouton tunning. Idéalement jusqu’à la valeur zéro de puissance réfléchie. Revenez à l’affichage F à l’aide du poussoir et rélgler le niveau de puissance incidente souhaitée. Généralement autour de 70watts/ Le temps de process dépend de l’application. En fin de process, arrêtez la RF, bouton RF, puis arrêtez le pompage, bouton « vacuum ». Effectuez la mise à l’air grâce à la touche vent Attendez la remise à l’air complète avant de retirer la chambre interne. Généralement 1 à 2 minutes. Puis arrêtez la mise à l’air touche « VENT ». Et arrêter l’équipement touche « Power » Pensez à couper votre pompe à palette et fermez la bouteille de gaz. Merci d’avoir suivi ce tutoriel.

 

Retranscription de la vidéo : Maintenance Plasma Prep III

Bienvenue sur le tutoriel de maintenance du four à plasma Plasma Prep III Pour changer la chambre principale vous devez : Vous assurez que la pompe primaire est à l’arrêt et avoir fermé l’arrivée de gaz. Retirez la chambre interne si cela n’est pas déjà fait. Débranchez le câble secteur du plasma prep 3. Commencez par retirer les 4 vis du capot supérieur – 2 à droite, 2 à gauche. Retirez le capot supérieur Ouvrez la porte frontale. Desserrer de 3 à 4 tous les 2 vis nylon côté radiateur et carte électronique (ne pas les retirercomplètement. Dévisser complètement les 2 vis nylon côté externe. Attention à retirer également les 2 entretoises. Dévisser le raccord en laiton sur la partie avant du plasma prep 3. Soulever délicatement et verticalement la chambre. Retirer le tube arrière d’introduction de gazde l’embout cannelé. Retirer l’enceinte par l’avant. Le raccord laiton de pompage est composé de 3 pièces. Faites bien attention au sens et à l’ordrede montage : Joint, bague et écrou. Réintroduisez la nouvelle chambre en commençant par le raccord cannelé. Puis introduisez le tube avant dans le raccord laiton de pompage et resserrez le tout. Remettez les entretoises et les vis, et revissez les 4 vis en nylon. Merci d’avoir suivi ce tutoriel.

 
 
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