Magnétrons circulaires

Le design général, l'implatation des aimants, la configuration du champ magnétique et du refroidissement permettent à nos magnétrons circulaires d'être reconnus comme des standards de la R&D et de l'industrie du sputtering.

Nous proposons des cathodes magnétrons pour des diamètres de cibles de 1" jusqu'à 16".

 

Features: 

  • Total power compatibility : their low impedance heads provide RF, DC, mid frequency DC, pulsed DC and microwave power compatibility
  • Quick, easy target change
  • Lower pressure, higher power
  • Greater target utilization
  • Full range of sizes: from 1" to 16" target sizes 

Options:

  • Manual pneumatic shutter
  • Right angle 
  • +/- 45° tilt
  • Balanced, unbalanced
  • Gas injection
  • Cheminey
  • High strength magnet array
  • In-situ variable magnetic field 

Cathode Target Ø Refroidissement Bride Quantité
circulaire Ajouter

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NEYCO
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