
- Matériaux
-
Couches minces
-
Filaments et nacelles
- Filaments Tungstène de métallisation
- Tiges Tungstène
- Filaments source ponctuelle
- Filaments chauffants plans
- Paniers
- Creusets
- Fours bafflés pour creuset
- Nacelles
- Nacelles pliées
- Nacelles choupage alumine
- Nacelles en Tantale avec couvercle
- Nacelles écrantées pour SiO et ZnS
- Micro-nacelles (< 50 mm)
- Nacelles pliées avec couvercle
- Tiges W pour dépôt de Chrome
- Cônes et liners
- Magnétrons
- Systèmes de dépôt
- Canons à électrons & évaporateurs
- Pièces détachées tous canons
- Mesure d'épaisseur
- Eléments réfractaires
- Alimentations plasma
- Quartz pour RQCM
- Couches minces à façon
- Guide technique des couches minces
-
Filaments et nacelles
- Vide
- Microscopie
-
Lubrification
- Secteurs
- Applications
-
Produits
- Graisses d'amortissement
- Graisses électriquement conductrices
- Lubrifiants alimentaires
- NyeBar (film barrière)
- NyeTact/NyoGel (graisse de contact)
- NyeTorr/NyeClean
- Rhéolube
- Gels et fluides optiques
- Pennzane
- Uniflor (lubrifiants PFPE)
- Pâtes Molykote
- Graisses Molykote
- Compounds Molykote
- Huiles industrielles Molykote
- Revêtements Molykote
- Dispersion Molykote
- Silicones
Nos produits > Couches minces > Systèmes de dépôt
Systèmes de dépôt
MAGEVA

MAGEVA est un système de dépôt sous vide étudié pour le développement de nouveaux process, alliant simplicité et modularité. Compact, monté sur un châssis équipé de roulettes, il est prêt à l’emploi pour répondre à de nombreux besoins en couches minces.
Il permet de déposer soit par sputtering à partir d’un magnétron (jusqu’à 100 mm de diamètre), soit par évaporation à partir d’un évaporateur effet Joule (150 A). L’utilisateur peut ainsi changer de process en moins de 10 min.
Son enceinte inox, équipée d’une pompe turbo, permet l’obtention très rapide d’un vide limite de 10-6 mbar. L’emplacement du porte-échantillon, ergonomique, assure une fixation aisée du ou des substrat(s).
MAGEVA est proposé en standard avec les équipements suivants :
- 1 pompe turbo + 1 pompe à palettes pilotées automatiquement
- 1 jauge Pirani/Penning
- 1 vanne tiroir (pour la régulation)
- 1 balance à quartz avec Q-pod (mesure d’épaisseur)
- 1 magnétron
- 1 bride toute équipée effet Joule
- 2 alimentations DC
L’équipement est entièrement conçu et assemblé en France, avec marquage CE.
Vous ne trouvez pas le produit désiré? Contactez-nous
30 avenue de la Paix
92170 VANVES
Tel:+33(0)1 41 90 50 50
Fax:+33(0)1 41 90 50 51
e-mail : contact[@]neyco.fr