Systèmes de dépôt

MAGEVA

MAGEVA est un système de dépôt sous vide étudié pour le développement de nouveaux process, alliant simplicité et modularité. Compact, monté sur un châssis équipé de roulettes, il est prêt à l’emploi pour répondre à de nombreux besoins en couches minces.

Il permet de déposer soit par sputtering à partir d’un magnétron (jusqu’à 100 mm de diamètre), soit par évaporation à partir d’un évaporateur effet Joule (150 A). L’utilisateur peut ainsi changer de process en moins de 10 min.

Son enceinte inox, équipée d’une pompe turbo, permet l’obtention très rapide d’un vide limite de 10^-6 mbar. L’emplacement du porte-échantillon, ergonomique, assure une fixation aisée du ou des substrat(s).

MAGEVA est proposé en standard avec les équipements suivants :

• 1 pompe turbo + 1 pompe à palettes pilotées automatiquement
• 1 jauge Pirani/Penning
• 1 vanne tiroir (pour la régulation)
• 1 balance à quartz avec Q-pod (mesure d’épaisseur)
• 1 magnétron
• 1 bride toute équipée effet Joule
• 2 alimentations DC

L’équipement est entièrement conçu et assemblé en France, avec marquage CE.