CDG025-X3

Série SKY, compensée en température

Mesure de la pression sur 4 décades

Adaptée aux salles blanches

Applications :

  • Industrie du semiconducteur : Etching, CVD, PVD, ALD
  • Process couches minces nécessitant une mesure de pression de haute précision
  • Process sous vide en ambiance corrosive

Jauge capacitive CDG025D-X3

Jauge capacitive CDG025D-X3
  • de 0.1 à 1000 Torr pleine échelle (F.S)
  • mesure sur 4 décades
  • compensée en température à 25°C
  • double protection du capteur contre les pollustions
  • 2 setpoints
  • interface RS232
Type, unité F.S. Bride Contrôle de pression Quantité
CDG025D-X3, Torr Ajouter
CDG025D-X3, mbar Ajouter

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