CDG025D à 200D

Série SKY, compensée en température

Mesure de la pression sur 4 décades

A partir de 0.1 Torr pleine échelle (F.S.) pour les CDG025D à CDG100D

A partir de 1 Torr pleine échelle (F.S.) pour les CDG160D et CDG200D

Applications :

  • Industrie du semiconducteur : Etching, CVD, PVD, ALD
  • Process couches minces nécessitant une mesure de pression de haute précision
  • Process sous vide en ambiance corrosive

 

Jauge capacitive CDG25D

Jauge capacitive CDG25D
  • de 0.1 à 1000 Torr pleine échelle (F.S)
  • mesure sur 4 décades
  • compensée en température à 25°C
  • capteur protégé des pollutions
  • setpoints et RS232 en option

 

Type, unité F.S. Bride Interface Contrôle de pression Quantité
CDG025D, Torr Ajouter
CDG25D, mbar Ajouter

Veuillez saisir une valeur numérique

Jauge capacitive CDG45D

Jauge capacitive CDG45D
  • de 0.05 à 1000 Torr pleine échelle (F.S)
  • mesure sur 4 décades
  • compensée en température à 45°C
  • 2 setpoints en standard
  • choix de l'interface Fieldbus
  • présence d'un port "diagnostique" par protocole RS232 
Type, unité F.S. Bride Interface Contrôle de pression Quantité
CDG045D, Torr Ajouter
CDG045D, mbar Ajouter

Veuillez saisir une valeur numérique

Jauge capacitive CDG100D

Jauge capacitive CDG100D
  • de 0.1 à 1000 Torr pleine échelle (F.S)
  • mesure sur 4 décades
  • compensée en température à 100°C
  • 2 setpoints en standard
  • choix de l'interface Fieldbus
  • présence d'un port "diagnostique" par protocole RS232 
Type, unité F.S. Bride Interface Contrôle de pression Quantité
CDG100D, Torr Ajouter
CDG100D, mbar Ajouter

Veuillez saisir une valeur numérique

Jauges capacitives CDG160D et CDG200D

Jauges capacitives CDG160D et CDG200D
  • de 1 à 1000 Torr pleine échelle (F.S)
  • mesure sur 4 décades
  • compensée en température à 160°C (CDG160D) ou 200°C (CDG200D)
  • 2 setpoints en standard
  • choix de l'interface Fieldbus
  • présence d'un port "diagnostique" par protocole RS232 
Type, unité F.S. Bride Interface Contrôle de pression Quantité
CDG160D, Torr Ajouter
CDG160D, mbar Ajouter
CDG200D, Torr Ajouter
CDG200D, mbar Ajouter

Veuillez saisir une valeur numérique

Câble de diagnostique pour jauges CDG045D à CDG200D

Câble spécifique entre la jauge et le port RS232 du PC, 2 m

P/N Désignation Quantité
303-333 Câble 2m, PC RS232 Ajouter

Veuillez saisir une valeur numérique

Vous ne trouvez pas le produit désiré? Contactez-nous

NEYCO
30 avenue de la Paix
92170 VANVES
Tel:+33(0)1 41 90 50 50
Fax:+33(0)1 41 90 50 51
e-mail : contact[@]neyco.fr