CDG025D à 200D

CDG025D à 200D

Série SKY, compensée en température

Mesure de la pression sur 4 décades

A partir de 0.1 Torr pleine échelle (F.S.) pour les CDG025D à CDG100D

A partir de 1 Torr pleine échelle (F.S.) pour les CDG160D et CDG200D

 

 

Applications :

  • Industrie du semiconducteur : Etching, CVD, PVD, ALD
  • Process couches minces nécessitant une mesure de pression de haute précision
  • Process sous vide en ambiance corrosive

 

Jauge capacitive CDG025D

Jauge capacitive CDG025D
  • de 0.1 à 1000 Torr pleine échelle (F.S)
  • mesure sur 4 décades
  • compensée en température à 25°C
  • capteur protégé des pollutions
  • setpoints et RS232 en option
  • version avec cable EtherCAT disponible (Ref: CDG025D2)

 

Type, unité F.S. Bride Interface Contrôle de pression Quantité
CDG025D, Torr Ajouter
CDG25D, mbar Ajouter

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Jauge capacitive CDG025D-X3

Jauge capacitive CDG025D-X3
  • de 0.1 à 1000 Torr pleine échelle (F.S)
  • mesure sur 4 décades
  • compensée en température à 25°C
  • double protection du capteur contre les pollustions
  • 2 setpoints
  • interface RS232
Type, unité F.S. Bride Contrôle de pression Quantité
CDG025D-X3, Torr Ajouter
CDG025D-X3, mbar Ajouter

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Jauge capacitive CDG045D

Jauge capacitive CDG045D
  • de 0.05 à 1000 Torr pleine échelle (F.S)
  • mesure sur 4 décades
  • compensée en température à 45°C
  • 2 setpoints en standard
  • choix de l'interface Fieldbus
  • présence d'un port "diagnostique" par protocole RS232 
Type, unité F.S. Bride Interface Contrôle de pression Quantité
CDG045D, Torr Ajouter
CDG045D, mbar Ajouter

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Jauge capacitive CDG100D

Jauge capacitive CDG100D
  • de 0.1 à 1000 Torr pleine échelle (F.S)
  • mesure sur 4 décades
  • compensée en température à 100°C
  • 2 setpoints en standard
  • choix de l'interface Fieldbus
  • présence d'un port "diagnostique" par protocole RS232 
Type, unité F.S. Bride Interface Contrôle de pression Quantité
CDG100D, Torr Ajouter
CDG100D, mbar Ajouter

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Jauges capacitives CDG160D et CDG200D

Jauges capacitives CDG160D et CDG200D
  • de 1 à 1000 Torr pleine échelle (F.S)
  • mesure sur 4 décades
  • compensée en température à 160°C (CDG160D) ou 200°C (CDG200D)
  • 2 setpoints en standard
  • choix de l'interface Fieldbus
  • présence d'un port "diagnostique" par protocole RS232 
Type, unité F.S. Bride Interface Contrôle de pression Quantité
CDG160D, Torr Ajouter
CDG160D, mbar Ajouter
CDG200D, Torr Ajouter
CDG200D, mbar Ajouter

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Câble de diagnostique pour jauges CDG045D à CDG200D

Câble spécifique entre la jauge et le port RS232 du PC, 2 m

P/N Désignation Quantité
303-333 Câble 2m, PC RS232 Ajouter

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