CDG045Dhs CDG100Dhs

Série StripeTM

Mesure de la pression sur 4 décades

A partir de 0.1 Torr pleine échelle (F.S.) pour la CDG100Dhs 

Rapide : temps de réponse < 2 ms

 

Applications :

  • Industrie du semiconducteur : Etching, CVD, PVD
  • Dépôts de couches atomiques
  • Applications générales nécessitant le vide à haute température 

 

Jauge capacitive CDG045Dhs

Jauge capacitive CDG045Dhs
  • de 0.1* à 1000 Torr pleine échelle (F.S)
  • mesure sur 4 décades
  • compensée en température à 45°C
  • 2 setpoints
  • protocole EtherCAT

*possibilité de 0.01 Torr pleine échelle (F.S) en position verticale uniquement 

Type, unité F.S. Bride Contrôle de pression Quantité
CDG045Dhs, Torr Ajouter
CDG045Dhs, mbar Ajouter

Veuillez saisir une valeur numérique

Jauge capacitive CDG100Dhs

Jauge  capacitive CDG100Dhs
  • de 0.1 à 1000 Torr pleine échelle (F.S)
  • mesure sur 4 décades
  • compensée en température à 100°C
  • 2 setpoints
  • protocole EtherCAT
Type, unité F.S. Bride Contrôle de pression Quantité
CDG100Dhs, Torr Ajouter
CDG100Dhs, mbar Ajouter

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