Les materiaux d'evaporation

L’évaporation sous vide est une technique qui permet de produire des vapeurs de divers matériaux, de transporter ces vapeurs sous un bon vide (pression entre 10-4 et 10-10 mbar) et de les déposer sur un substrat sous forme de couches minces.

L’évaporation sous vide repose sur deux principes fondamentaux de la thermodynamique :

  1. Passage d’une phase condensée à un état gazeux du matériau que l’on veut déposer
  2. Condensation de la vapeur lorsqu’elle arrive sur le substrat

Le matériau à déposer peut être chauffé par différentes techniques :

  • Effet Joule : passage d’un courant dans des filaments, nacelles, paniers, creusets où se trouve la matière à évaporer
  • Canon à électrons : le matériau à évaporer est placé dans un creuset en Cuivre où il est chauffé par un faisceau d’électrons émis par un filament de Tungstène et défléchi par un aimant permanent
  • Epitaxie par jet moléculaire (MBE), à l'aide d'une cellule d’effusion

Bâtis d'évaporation sous Vide, effet Joule et canon à électrons

Les matériaux d'évaporation utilisés se présentent sous forme de morceaux, lopins, granules, cônes d'évaporation (préforme), poudres, fil...

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