CDG025D à 200D

Information guide

Série SKY, compensée en température

Mesure de la pression sur 4 décades

A partir de 0.1 Torr pleine échelle (F.S.) pour les CDG025D à CDG100D

A partir de 1 Torr pleine échelle (F.S.) pour les CDG160D et CDG200D

 

 

Applications :

  • Industrie du semiconducteur : Etching, CVD, PVD, ALD
  • Process couches minces nécessitant une mesure de pression de haute précision
  • Process sous vide en ambiance corrosive

 

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Câble de diagnostique pour jauges CDG045D à CDG200D