CDG045Dhs CDG100Dhs

Information guide

Série StripeTM

Mesure de la pression sur 4 décades

A partir de 0.1 Torr pleine échelle (F.S.) pour la CDG100Dhs 

Rapide : temps de réponse < 2 ms

 

Applications :

  • Industrie du semiconducteur : Etching, CVD, PVD
  • Dépôts de couches atomiques
  • Applications générales nécessitant le vide à haute température 

 

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Vacuum

Jauge capacitive CDG045Dhs

Vacuum

Jauge capacitive CDG100Dhs